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DC、RF、mmW测试；
纳米级电子器件测试、微机电测试；
超导测试。
产品特点：
80k-573k温度范围，可扩展至4k-1073k。
载物台内部液氮浸润式结构，快速降温，液氮使用量更少，节约耗材成本。
高真空不锈钢真空腔体（配套分子泵组可达10-6mbar）。
低温测试时真空腔体体内无凝露、结霜。
红外截止玻璃观察窗，提升测试腔内部温度稳定性。
4探针点测系统，最多可定制8探针点测系统。
配套同轴或三轴电缆可应用于高精度的DC测试。
配套微波测试套件可应用于DC-67GHz的RF测试或频率更高的mmW测试。
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技术指标 |
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载物台 |
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尺寸 |
4"（2"、6"、8"方案可选） |
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材质 |
合金铜 |
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表面处理 |
可选纯金镀层或沉镍镀层 |
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平整度 |
<50µm@300℃ |
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载物台移动基座（可选项） |
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X-Y轴行程范围 |
4"*4"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选 |
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精度 |
1μm |
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R轴微调角度范围 |
±9° |
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R轴微调精度 |
0.0001°/deg |
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Z轴细调行程范围 |
13mm |
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细调精度 |
1μm |
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Z轴快升行程 |
350μm |
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Z轴往复精度 |
<1μm |
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温度控制系统 |
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温度范围 |
80k-573k |
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温度精度 |
0.1℃ |
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温控精度 |
温控精度0.1℃，连续变温无节点。 |
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温度均匀性 |
0.1℃@4(100mm)载物台。 |
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加热方式 |
电阻加热 |
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制冷方式 |
液氮制冷 |
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杜瓦罐容量 |
80L自增压液氮杜瓦罐 |
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致冷剂消耗量 |
15L液态氮（室温降至80k） |
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温度扩展范围 |
4k-1073k |
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真空系统 |
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真空度 |
10-3mbar*（可配套分子泵组，达到更高的真空度10-6mbar） |
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真空泵 |
旋片式双级油封真空泵，可升级涡轮分子泵组 |
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抽速 |
16m3/h |
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抽真空时间 |
5min（10-3mbar） |
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真空焊接波纹管 |
三维弯曲大于25mm（定制参数） |
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法兰 |
KF（更高真空度要求则使用CF） |
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真空腔体 |
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腔体材质 |
不锈钢 |
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观察舷窗 |
红外截止玻璃** |
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真空泵接口法兰 |
KF25 |
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液氮接口法兰 |
KF25 |
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点测系统 |
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探针座数量 |
4个（最多8个，可根据需求定制） |
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探针夹具 |
4个（最多8个，可根据需求定制） |
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定位精度 |
5μm（可根据需求定制） |
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X-Y-Z轴移动行程 |
25mm*25mm*25mm（可根据需求定制） |
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光学系统（体视显微镜） |
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光学放大倍数 |
15X-100X |
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变焦倍率 |
0.75X-5X（变倍比6X） |
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CCD |
1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口 |
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显微镜旋臂 |
两段式显微镜支架，可快速移动定位显微镜 |
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光学系统（单筒显微镜） |
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光学放大倍数 |
400X(21英寸显示器) |
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变焦倍率 |
0.58X-7X（变倍比12X，超大变倍范围） |
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CCD |
1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口 |
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显微镜旋臂 |
两段式显微镜支架，可快速移动定位显微镜 |
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显微镜移动基座（可选项） |
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X-Y轴行程范围 |
2"*2"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选 |
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精度 |
1μm |
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防震台 |
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隔震方式 |
气囊式防震台 |
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固有频率 |
1.2Hz（水平），1.5Hz（水平） |
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样品振动 |
<300nm（真空泵工作时） |
*低温测试时真空腔体内无凝露或结霜。
**红外截止玻璃：过滤红外光，防止红外光进入真空腔体内使腔体内部升温，提升载物台温度稳定性。
***77k为液氮温度，实际操作中，由于载物台热传导损耗的存在，无法达到77k。根据液氮循环的时间而定，实际最低温度不会低于85k。
