基本功能:SZT-C型四探针测试台,是用来装夹四探针探头,连接四探针测试仪器,放置样品,进行手动方式测试的机具。是四探针法测试电阻率/方块电阻(方阻)仪器的配套测量装置(以下简称测试台)。
基本组成:主要有载物台(180mmX180mm净载物面积)、双轨垂直导向单元、测试压力调节单元、探头快速升降扳手(顶部戴红套部分)、探头连接板等单元。
配套与兼容:本测试台可选配本公司所有型号的四探针测试探头,包括钨针四探针探头(测试硬质样品用),镀金合金探头(测试柔性薄膜或涂层方阻专用);本测试台兼容本公司所有四探针测试仪器。本测试台加配本公司探头,可兼容国内同行绝大多数四探针电阻率/方阻测试仪器。
二、可测半导体材料尺寸 (探头手持方式不限)
直径或边长:SZT-C测试台直接测试方式 Φ15~180mm,或180mm×180mm。
长(或高)度: 测试台直接测试方式 H≤160mm, 其他方式不限.
测量方位: 轴向、径向均可
三 、使用方法
3.1 放置样品:将测试台上部操作扳手向上向后、向上升起测试台探头,如图2.1,将样品放在探头下方测试台板上,然后将测试台上部操作扳手向前向下,压下探头。
3.2压力调整:在探头压下的状态下,可根据样品厚度及压力要求,调节测试台导轨支架中部螺杆上的螺母(先松开锁紧螺帽),观察探头探针压下程度,调节测试压力!(弹簧压缩量0~20mm,对应探头压力0~2.0K公斤),调好后,锁紧锁紧螺帽。
对于ST2253-F01钨针探头,探头探针探针缩进量0~4mm,对应探头压力0~2.0K公斤
对于ST2558B-F01薄膜方阻探头,探头探针探针缩进量0~4mm,对应探头压力0~400克!
调好后,松开手,压力会自动保持。
3.3 测好后,抬起探头,移动样片或移开!