一 、功能与结构特征概述

基本功能：SZT-B型四探针电动测试台，是用来装夹四探针探头，连接四探针测试仪器，放置样品，进行自动/手动方式测试样品电阻率/方阻的机具。是四探针法测试电阻率/方电仪器的配套测量装置（以下简称测试台）。

基本组成：本测试台由底盘支架、控制盒、升降成套机构、压力检测机构、步进电机传动系统、电源等主要单元组成。

配套与兼容：本测试台可装配本公司所有型号的四探针测试探头，包括钨针四探针探头（测试硬质样品用），镀金合金探头（测试柔性薄膜或涂层方阻专用）；本测试台兼容本公司所有四探针测试仪器。本测试台加配本公司探头，可兼容国内同行绝大多数四探针电阻率/方阻测试仪器。

优势特征：本测试台探头升降具有自动/手动一体化功能、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、测量简便等特点。由于是自动控制探头行程和压力，特别适用于初次接触此类仪器，对测试压力难以手工掌握，易损坏样品的场合。

二、技术参数

1. 可测半导体材料尺寸（探头手持方式不限）

直        径： 测试台直接测试方式 Φ15～130mm，其他方式不限.

长（或高）度： 测试台直接测试方式 H≤160mm,    其他方式不限.

2. 测量方位

轴向、径向均可

3. 配四探针测试探头：

⑴探头种类：不限

⑵压    力：

对于ST2253-F01钨针探头，探针缩进量0～4mm,对应压力0～2.0K公斤，额定1.5kg

对于ST2558B-F01薄膜方阻探头，探针缩进量0～4mm,对应压力0～400克！额定300g

4. 电源：

功 耗：< 15W；输入:220V±10%   50Hz

5. 外形尺寸：

测试台  380mm（长）×245 mm（宽）×350mm（高）

净重：4.5Kg