基本功能:SZT-A型四探针测试台,是用来装夹四探针探头,连接四探针测试仪器,放置样品,进行手动方式测试的机具。是四探针法测试电阻率/方块电阻(方阻)仪器的配套测量装置(以下简称测试台)。
基本组成:主要有载物台(直径120mm净载物面积)、垂直导向杆、探头高度调节、测试压力调节、探头连接板等单元组成。
配套与兼容:本测试台可选配本公司所有型号的四探针测试探头,包括钨针四探针探头(测试硬质样品用),镀金合金探头(测试柔性薄膜或涂层方阻专用);本测试台兼容本公司所有四探针测试仪器。本测试台加配本公司探头,可兼容国内同行绝大多数四探针电阻率/方阻测试仪器。
二、可测半导体材料尺寸 (探头手持方式不限)
直 径: SZT-A测试台直接测试方式 Φ15~130mm,其他方式不限.
长(或高)度: 测试台直接测试方式 H≤160mm, 其他方式不限.
测 量 方 位: 轴向、径向均可
三、使用方法
3.1 放置样品:调节测试台后上部旋钮,向上升起测试台探头,如图3.1,将样品放在探头下方测试台板上,然后调节测试台后上部旋钮,向下小心压下探头。
3.2压力调整:可根据样品厚度及压力要求,在探头压下,探针接触样品表面的状态下,调节测试台旋钮,观察探头探针压下程度,调节测试压力!如图3.2
对于ST2253-F01钨针探头,探头探针缩进量0~4mm,对应探头压力0~2.0K公斤
对于ST2558B-F01薄膜方阻探头,
探头探针探针缩进量0~4mm,对应探头压力0~400克!
调好后,松开手,压力会自动保持。
3.3测好后,抬起探头,移动样片或移开!
四、联系方式:18914021918/0512-80973697/66050595(传真) QQ:1064887318 丁先生