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波长范围(nm) 光谱分辨率 (nm) 焦距 (mm) 型号 扫描 阵列探测器 成像 真空 超高真空 光学设计 < 1 ~ 310 0.018 1,000 248/310G 光栅入射 < 1 ~ 90 0.015 1,500 252/315 光栅入射 < 1 ~ 254 0.008 2,200 247 光栅入射 < 1 ~ 240 0.006 3,000 249 光栅入射 <1 ~ 70 0.002 10,600 262 光栅入射 1 ~ 15 0.007 70,000 264 光栅入射 10 ~ 170 0.05 292 251 平场环形 1 ~ 20 0.02 5,649 251MX 平场环形 50 ~ 300 0.1 320 343 环形